南京ナシ マイクロ波技術開発 (株)
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マイクロ波プラズマ

主な機能と特徴 1。電離と分解の高度。2. 電子温度及びイオン温度温度が非常に高く、適切な温度を保つためにキャリアガスでガスの比。この機能により、蒸着、場合することができます.

    主な機能と特徴

    1. 電離と分解の高度。

    2. 電子温度及びイオン温度温度が非常に高く、適切な温度を保つためにキャリアガスでガスの比。この機能により、蒸着、場合は、基板が高すぎない温度をことができます。

    3. 高圧下でプラズマを維持します。

    4. 内部電極血しょう容器、作動ガスはクリーン、無公害を超えて事項。プラズマ発生器は、長寿命を保つことができます。

    5. プラズマの磁場閉じ込め法を採用することが、スペースで、電子レンジ、磁気回路内の制約は対応することができます。

    6. 高い安全性ファクター。これは互いからの高電圧ソースとプラズマ発生器分離、dc プラズマを達成することはできません。電波漏洩は小さく、放射線安全基準を達成するために簡単です。高周波誘導プラズマを達成することは困難です。

    7. マイクロ波発生器は安定した、制御しやすいです。

    8. プラズマ、多くの場合は、騒音レベルが高く、直流放電とは異なり、比較的静かなプラズマです。

    マイクロ波励起プラズマの形で

    1. マイクロ波伝送線とキャビティ。

    2. エッジ フィールド遅波構造。

    3. 近距離マイクロ波帯のアンテナ。

    4. プラズマ列および導波管同軸基本表面波基本表面波プラズマ column.5 を刺激します。電子サイクロトロン共鳴プラズマを使用しています。

    目的と適用範囲

    プラズマ処理装置、プラズマ、プラズマ エッチング、残す接着剤、広くプラズマ コーティング、プラズマ灰化とプラズマ表面改質など。プラズマ処理によるぬれ能力を向上させる、ことができますコーティング、メッキ、操作などの材料の様々 なを作る、有機汚染物質、オイルやグリースを削除する同時に接着強度と接着力を強化します。

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